[发明专利]一种激光器光束质量因子M2的测量方法及其测量装置有效
| 申请号： | 201810865095.1 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109115466B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 石朝辉;王培峰;王儒琦 | 申请（专利权）人： | 苏州帕沃激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01J1/00 |
| 代理公司： | 天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12224 | 代理人： | 孙宝芸 |
| 地址： | 215024 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于激光器技术领域，公开了一种激光器光束质量因子M2的测量方法及其测量装置，所述测量方法通过先进行第一次测量光斑直径，即在正透镜L1后，前后移动CCD以寻找测量出最小光斑的束腰直径d1；然后再进行第二次测量光斑直径，即在聚焦透镜L2后，在其焦平面位置处测量光斑直径d2，则可以通过式(1)得出发散角，然后通过式(2)得出激光器光束质量因子M2，其利用两个透镜进行两次聚焦的方法，仅需要两次测量光斑直径就可以获得激光器光束质量因子M2，比现有技术的曲线拟合的方法更加简单便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 光束 质量 因子 m2 测量方法 及其 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光器光束质量因子M2的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：通过一个焦距为f1的正透镜L1将待测激光器高斯光束进行聚焦；将CCD前后移动，寻找聚焦后的所述高斯光束的最小光斑位置；测量并记录所述最小光斑位置处的最小光斑直径d1，以得到所述高斯光束的束腰直径d＝d1；在聚焦后的所述高斯光束的后方设置一个焦距为f2的聚焦透镜L2，然后在所述聚焦透镜L2的焦平面位置处测量焦点光斑直径d2，则所述高斯光束的发散角θ通过下式求得：![]()
则M2因子通过下式求得：![]()
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