[发明专利]一种光学元件位置检测装置、控制装置及检测方法有效
| 申请号： | 201810871168.8 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110793468B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐建旭;兰艳平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学元件位置检测装置、控制装置及检测方法，该光学元件位置检测装置包括：第一测试单元，用于产生第一光束，第一光束经待测光学元件或待测光学元件的反射底座反射，形成第二光束；第一聚焦透镜，位于第二光束的光路上，用于聚焦第二光束；第一检测单元，位于第一聚焦透镜的焦面上，用于接收第二光束，根据第二光束在第一检测单元上形成的光斑的位置变化，输出第一检测信号；数据处理单元，与第一检测单元电连接，用于根据第一检测信号，计算待测光学元件的角度变化量。本发明实施例可以光学元件角度偏差进行检测和精确计算，有利于精确地对光学元件进行位置控制，减少光学元件漂移误差对光学系统产生影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 位置 检测 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件位置检测装置，其特征在于，包括：/n第一测试单元，用于产生第一光束，所述第一光束经待测光学元件或待测光学元件的反射底座反射，形成第二光束；/n第一聚焦透镜，位于所述第二光束的光路上，用于聚焦所述第二光束；/n第一检测单元，位于所述第一聚焦透镜的焦面上，用于接收所述第二光束，根据所述第二光束在所述第一检测单元上形成的光斑的位置变化，输出第一检测信号；/n数据处理单元，与所述第一检测单元电连接，用于根据所述第一检测信号，计算所述待测光学元件的角度变化量。/n
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