[发明专利]一种提升双面PERC电池板式PECVD镀膜产能的方法

摘要

本发明公开了一种提升双面PERC电池板式PECVD镀膜产能的方法，涉及晶硅太阳能电池制造领域，解决了现有PECVD镀膜工艺不能够不降低电池片电性能的同时提高产能的问题。一种提升双面PERC电池板式PECVD镀膜产能的方法，通过背面渐进式镀膜工艺来提高双面PERC电池背面减反射效果，最终提高PERC电池双面率，从改善微波功率限制、特气流量限制、设备参数限制等入手，从而达到提升产能的目的。

主权项

1.一种提升双面PERC电池板式PECVD镀膜产能的方法，所述的方法通过采用背面渐进式镀膜工艺结合对原有工艺参数的改进调整，实现提高PERC电池双面率和提升产能的目的，其特征在于，所述的方法步骤均为在原有工艺上进行改进和调整，包括以下步骤：(1)、增大电子特气总流量：在原有工艺条件下，按比例增大氩气、笑气、三甲基铝、氨气、硅烷的总流量。(2)、增大微波功率：增大微波功率有两种方法，一是增大微波峰值功率，峰值功率报警上限为4400W，但微波波动较大，在3800W时就有可能波动到4400W产生设备报警，可将现有的微波功率提升到3400～3800W；二是增加微波开启时间或缩短微波关闭时间，将微波开启时间由原来的3～6ms增加到8ms，或者将微波关闭时间有原来的14～18ms减小为8～12ms，以达到增大平均功率的目的。(3)、减少进料腔预热时间：优化真空度，和预热温度，减少载板在进料腔的预热时间，使载板可以尽早的进入工艺腔进行镀膜。(4)、提高各腔室传送带带速：此过程可以提高碳纤维载板在各腔室的移动速度，带速可提升10～30cm/min，从而提升镀膜工序产能。