[发明专利]TiAl/TiAlN/TiZrAlN复合涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201810875578.X | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108950488A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王建民;高术振;李阳;张钧 | 申请（专利权）人： | 河北工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 宋平 |
| 地址： | 056038 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TiAl/TiAlN/TiZrAlN复合涂层及其制备方法，方法包括：选用两个Ti/Al原子比为50/50的钛铝合金靶和两个Ti/Zr原子比为45/55的钛锆合金靶；将金属基体置于工件架上；对镀膜室进行预烘烤工艺；对金属基体进行预轰击清洗工艺；在金属基体上镀TiAl层；在TiAl层上镀TiAlN层；在TiAlN层上镀TiZrAlN层。本发明获得的TiAl/TiAlN/TiZrAlN复合涂层能够达到超硬性，同时也保证了高附着力和高热震性的同时实现，减小了膜层内应力，并具有良好的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 复合涂层 金属基体 原子比 制备 钛铝合金靶 高附着力 清洗工艺 钛锆合金 镀膜室 工件架 预烘烤 高热 减小 膜层 轰击 保证 | ||
【主权项】：
1.一种制备TiAl/TiAlN/TiZrAlN复合涂层的方法，包括：选用两个Ti/Al原子比为50/50的钛铝合金靶和两个Ti/Zr原子比为45/55的钛锆合金靶；将待镀膜的金属基体置于镀膜室的工件架上；对所述镀膜室进行预烘烤工艺；对金属基体进行预轰击清洗工艺；在所述金属基体上镀TiAl层，起弧时间为第一时间；在所述TiAl层上镀TiAlN层，起弧时间为第二时间；在所述TiAlN层上镀TiZrAlN层，起弧时间为第三时间；其中，所述第一时间、所述第二时间和所述第三时间的比值为1:3:6。
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