[发明专利]一种铸造单晶硅的制备方法在审
申请号: | 201810876213.9 | 申请日: | 2018-08-03 |
公开(公告)号: | CN109056062A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 明亮;邱昊;黄美玲;段金刚;刘福刚 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/02 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;何文红 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种铸造单晶硅的制备方法,该制备方法包括以下步骤:在石英坩埚底部中心放置一块单晶硅籽晶,装入硅原料和母合金;对石英坩埚进行加热,使硅原料和母合金完全熔化,单晶硅籽晶部分熔化,进入长晶阶段;控制硅熔体的横向温度梯度和纵向温度梯度,使晶体从单晶硅籽晶和硅熔体的接触面向四周及向上生长,得到铸造单晶硅锭。本发明制备方法具有工艺简单、易操作、成本低廉、单晶硅籽晶用量小、单晶率高、位错率低等优点,适合于大规模制备,利用工业化生产,有着很好的应用价值和应用前景。 | ||
搜索关键词: | 制备 单晶硅籽晶 熔化 单晶硅 铸造 石英坩埚 硅熔体 硅原料 母合金 横向温度梯度 纵向温度梯度 单晶硅锭 底部中心 向上生长 单晶 位错 加热 装入 应用 | ||
【主权项】:
1.一种铸造单晶硅的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在石英坩埚底部中心放置一块单晶硅籽晶,装入硅原料和母合金;(2)将步骤(1)中装有单晶硅籽晶、硅原料和母合金的石英坩埚进行加热,使硅原料和母合金完全熔化,单晶硅籽晶部分熔化,进入长晶阶段;(3)进入长晶阶段后控制硅熔体的横向温度梯度和纵向温度梯度,使晶体从单晶硅籽晶和硅熔体的接触面向四周及向上生长,得到铸造单晶硅锭。
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