[发明专利]硬件参数的监控方法、装置、半导体处理系统和存储介质在审
| 申请号： | 201810877003.1 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN110794772A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 苏运坤 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硬件参数的监控方法、装置、半导体处理系统和计算机可读存储介质。包括：实时获取硬件参数的实际值；将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态；根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 硬件参数 状态标记 持续性 制程 计算机可读存储介质 中止 半导体处理系统 实时获取 预设 监控 | ||
【主权项】：
1.一种硬件参数的监控方法，其特征在于，包括：/n步骤S110、实时获取硬件参数的实际值；/n步骤S120、将所述硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当所述硬件参数的实际值与所述硬件参数的目标值一致时，将所述硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将所述硬件参数的状态标记为第二状态；/n步骤S130、根据所述第一状态或所述第二状态的持续时间，判断所述硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。/n
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