[发明专利]四波前横向剪切干涉波前传感器的剪切率标定装置及方法在审
| 申请号： | 201810878468.9 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109238479A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 杨甬英;张锐;梁子健 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四波前横向剪切干涉波前传感器的剪切率标定装置及方法。本发明的技术特点是引入刻蚀有阶跃边界图案的位相板对光波位相进行调制，采用剪切波前重构算法重构出两正交方向上的剪切波前，再结合边界特征提取算法计算出剪切量大小，从而实现对四波横向剪切干涉波前传感器剪切率的高精度检测。本发明的优点在于，解决了传统基于理论公式的剪切率计算方法由于各元件的相对位置难以精确确定而引入较大误差的问题，通过引入边界阶跃变化的位相板，剪切量信息很清晰的反映在两正交方向上剪切波前中，采用边界特征提取算法可以很高精度的计算出四波横向剪切波前传感器的剪切率大小，为波前传感器的高精度检测提供保障。 | ||
| 搜索关键词： | 波前传感器 剪切率 横向剪切干涉 剪切波 边界特征提取 高精度检测 标定装置 正交方向 剪切量 位相板 引入 边界图案 横向剪切 技术特点 阶跃变化 理论公式 算法计算 重构算法 光波 大误差 阶跃 刻蚀 算法 重构 调制 清晰 | ||
【主权项】：
1.四波前横向剪切干涉波前传感器的剪切率标定装置，其特征在于包括位相板(S1)、四波横向剪切光栅(S2)以及探测器(S3)；所述的位相板(S1)为刻蚀有阶跃边界图案的石英或玻璃平板；刻蚀图案包括矩形凹槽、“回”形凹槽、三角形凹槽。
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