[发明专利]光致抗蚀剂组合物、其图案形成方法及应用在审
| 申请号： | 201810885745.9 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110806677A | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 钱晓春;胡春青;金晓蓓 | 申请（专利权）人： | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;白雪 |
| 地址： | 213159 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物、其图案形成方法及应用。该光致抗蚀剂组合物包括a组分和b组分，该a组分为光产酸剂，该b组分为光阻聚合物，其中该光产酸剂为式(Ⅰ)、式(Ⅱ)、式(Ⅲ)、式(Ⅳ)、式(Ⅴ)以及式(Ⅵ)所示的化合物中的一种或多种。本发明的该光致抗蚀剂组合物对365‑435nm的LED光源具有高敏感度，光谱范围广，并且该光致抗蚀剂组合物保存稳定性优良、灵敏度高，透明性佳。 |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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