[发明专利]一种波前测量方法

摘要

本发明涉及一种波前测量方法，属于波前测量技术领域，对于存在波前畸变的待测激光束，采用哈特曼传感器进行波前测量，得到初次波前畸变，将待测激光束进行扩束，采用哈特曼传感器测量扩束后待测激光束的波前畸变，得到二次波前畸变，对初次波前畸变、二次波前畸变求差，得到待测激光束的波前畸变，本发明通过哈特曼传感器测量两组不同口径的光束相应得到两组不同空间分布特性的波前畸变，通过控制器对波前畸变进行处理，从而在不标定哈特曼传感器自身像差的条件下得到高精度的波前测量结果，可被应用于高精度波前探测相关领域。

主权项

1.一种波前测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：对于存在波前畸变的待测激光束，采用哈特曼传感器进行波前测量，得到初次波前畸变；待测激光束的波前畸变为φ₀(x,y)，采用基函数之和形式表示待测激光束的波前畸变，即其中，x和y分别表示二维空间两个方向，A_i(x,y)表示在所述二维空间内正交的基函数，a_i表示各阶基函数的系数；所述初次波前畸变为φ₁(x,y)，则其中，B(x,y)表示哈特曼传感器自身的波前误差；S2：将步骤S1中的待测激光束进行扩束，采用哈特曼传感器测量扩束后待测激光束的波前畸变，得到二次波前畸变；所述二次波前畸变为φ₂(x,y)，则其中，b_i表示各阶基函数的系数，且二次波前畸变与初次波前畸变对应相同的哈特曼传感器测量区域；S3：对初次波前畸变、二次波前畸变求差，得到待测激光束的波前畸变；对初次波前畸变、二次波前畸变求差，则通过基函数系数变换矩阵得到待测激光束波前畸变对应的基函数系数，即进而得到待测激光束的波前畸变，其中，W_n×n表示基函数的系数变换矩阵，即二次波前畸变与初次波前畸变基函数系数的线性变换关系式。