[发明专利]尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构有效

专利信息
申请号: 201810890195.X 申请日: 2018-08-07
公开(公告)号: CN109001179B 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 吕昌贵;祁正青;史士鹏;钟嫄;崔一平 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65;G01N21/01;G02B5/00
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 211189 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构,该共振结构包括一层透明弹性基底和金属V型光栅。通过弯曲弹性基底实现了结构尖端的纳米级间距,极大地增强了尖端附近的局域场增强因子。这种尖端间距的可调节特性保证了制备过程中尖端间距的可靠性,有效保证了检测的高灵敏度和高精确度。结构的共振光场主要局域在狭缝尖端,场增强范围也由传统的纳米颗粒对的点延展到线。该共振结构的制备方法基于硅的各向异性腐蚀和金属薄膜的剥离技术,工艺简便,可靠性高,重复性好,便于应用。
搜索关键词: 尖端 间距 调节 金属 光栅 fano 共振 结构
【主权项】:
1.一种尖端间距可调节的金属V型光栅Fano共振结构,其特征在于:该共振结构从下而上依次包括光栅金属膜、光学透明弹性介质基底。
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