[发明专利]一种静电吸附力测试平台及其测力方法有效
| 申请号： | 201810894782.6 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN108981998B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 陈锐;张卓;宋瑞洲 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 重庆憨牛知识产权代理有限公司 50261 | 代理人： | 文科 |
| 地址： | 400032 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电吸附力测试平台及其测力方法，包括平台底座、基底板、基底框架、十字形滚珠丝杠驱动装置、静电吸附膜和吸附膜支架以及配套的控制采集界面窗口；所述基底框架和十字形滚珠丝杠驱动装置均安装于平台底座，基底板竖立安装于基底框架；所述吸附膜支架安装于十字形滚珠丝杠驱动装置，通过所述十字形滚珠丝杠驱动装置驱动吸附膜支架沿基底板的切向和法向移动；所述静电吸附膜布置于吸附膜支架并且与基底板平行；本发明的一种静电吸附力测试平台及测力方法，能够在同一平台上分别准确便捷地测量得到静电吸附膜的法向和切向静电吸附力，测量过程合理，测量准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 吸附力 测试 平台 及其 测力 方法 | ||
【主权项】：
1.一种静电吸附力测试平台，其特征在于：包括平台底座、基底板、基底框架、十字形滚珠丝杠驱动装置、静电吸附膜和吸附膜支架以及配套的控制采集界面窗口；所述基底框架和十字形滚珠丝杠驱动装置均安装于平台底座，基底板竖立安装于基底框架；所述吸附膜支架安装于十字形滚珠丝杠驱动装置，通过所述十字形滚珠丝杠驱动装置驱动吸附膜支架沿基底板的切向和法向移动；所述静电吸附膜安装于吸附膜支架并且与基底板平行。
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