[发明专利]一种提高多层二硫化钼薄膜间接带隙发光性能的方法有效
申请号: | 201810897026.9 | 申请日: | 2018-08-08 |
公开(公告)号: | CN108998759B | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 顾德恩;陈聪;郑宏航;刘蕊;秦浩鑫 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/30;C23C14/35;C23C14/58;B82Y40/00;C09K11/68 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 蒋秀清;李春芳 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种提高多层二硫化钼薄膜间接带隙发光性能的方法,包括通过物理气相沉积方法对多层二硫化钼薄膜表面沉积铂纳米颗粒,铂纳米颗粒的颗粒尺寸小于10纳米;具有铂纳米颗粒的颗粒尺寸小于10纳米,能够提高多层二硫化钼薄膜的间接带隙发光性能,相对于纯的多层二硫化钼薄膜,间接带隙发光性能提高,且优于银纳米颗粒对多层二硫化钼薄膜间接带隙发光性能的提高,有利于提高光探测器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 多层 二硫化钼 薄膜 间接 发光 性能 方法 | ||
【主权项】:
1.一种提高多层二硫化钼薄膜间接带隙发光性能的方法,其特征在于,包括通过物理气相沉积方法对多层二硫化钼薄膜表面沉积铂纳米颗粒,铂纳米颗粒的颗粒尺寸小于10纳米。
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