[发明专利]一种光学元件表面疵病三维信息的检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 201810897354.9 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN109060659A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王红军;陈晨;胡雪媛;田爱玲;朱学亮;刘丙才;解格飒 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/956 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学元件表面疵病三维信息的检测系统及检测方法。该检测系统包括：光源系统，激光光源提供照明；光源经过起偏器得到偏振光，入射到光学元件表面；疵病产生的背向散射光由光学成像系统接收，会聚在CMOS靶面上，通过图像采集系统获取疵病数字图像信息；其反射方向的散射光经检偏器会聚到探测器上，测量光学元件的表面粗糙度信息。当显微成像系统测量到表面疵病时，相应的在反射光方向的表面粗糙度信息摒除，由此得到光学元件的粗糙度信息。同时通过表面粗糙度与表面疵病的关系，得到光学表面疵病的深度信息，完成对光学元件表面缺陷和表面粗糙度的同时测量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学元件表面 检测系统 表面粗糙度信息 表面粗糙度 表面疵病 三维信息 会聚 偏振光 测量 测量光学元件 光学成像系统 数字图像信息 图像采集系统 显微成像系统 背向散射光 粗糙度信息 光学表面 光学元件 光源系统 激光光源 深度信息 反射光 检偏器 起偏器 散射光 检测 探测器 入射 反射 光源 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件表面疵病三维信息的检测系统，其特征在于：激光器(1)，起偏器(2)，待测件(3)，显微成像系统(4)，光电探测器一(5)，检偏器(6)，光电探测器二(7)构成；激光器(1)发出的光束经过起偏器(2)得到偏振光，入射在待测件(3)的表面，待测件(3)表面因存在缺陷产生背向散射光，入射到显微成像系统(4)；显微成像系统(4)与光电探测器一(5)连接，光电探测器一(5)接收光学元件表面缺陷引起的背向散射光，并将散射光成像在光电探测器一的靶面上，光电探测器一与计算机连接，将信号输入计算机进行处理，得到表面疵病信息；光电探测器二(7)接收待测件(3)经过检偏器(6)的反射光方向临近区域的散射光，检测表面粗糙度。
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