[发明专利]一种基于激光诱导击穿光谱技术的表面粗糙度测量方法有效
| 申请号： | 201810898087.7 | 申请日： | 2018-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN109000597B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 王希林;陈凭;贾志东;王黎明 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种基于激光诱导击穿光谱技术的复合材料表面粗糙度测量方法，包括：S1、准备材料相同或相近但表面粗糙度不同的复合材料样品，并得到各样品的表面粗糙度；S2、使用激光诱导击穿光谱方法，用脉冲激光光束照射各复合材料样品的表面，获得等离子体特征光谱数据；S3、建立等离子体特征光谱数据与对应粗糙度的定标关系；S4、使用激光诱导击穿光谱方法，用脉冲激光光束照射待测复合材料的表面，获得对等离子体特征光谱数据；S5、根据S4得到的等离子体特征光谱数据，利用步骤S3得到的定标关系，确定待测复合材料的表面粗糙度。利用本方法可以对复合绝缘材料进行远程、带电的现场测试，快速获得精确的复合材料表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 激光诱导击穿光谱 等离子体 特征光谱数据 表面粗糙度 复合材料表面 复合材料样品 脉冲激光光束 复合材料 粗糙度 定标 照射 表面粗糙度测量 复合绝缘材料 粗糙度测量 现场测试 带电 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光诱导击穿光谱技术的复合材料表面粗糙度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、准备材料相同或相近但表面粗糙度不同的复合材料样品，并得到各样品的表面粗糙度；S2、使用激光诱导击穿光谱方法，用脉冲激光光束照射各复合材料样品的表面，获得各样品表面粗糙度对应的等离子体特征光谱数据；S3、建立相同或相近材料的不同粗糙度表面烧蚀产生的等离子体特征光谱数据与对应粗糙度的定标关系；S4、使用激光诱导击穿光谱方法，用相同参数的脉冲激光光束照射待测复合材料的表面，获得对应于待测复合材料表面粗糙度的等离子体特征光谱数据；S5、根据待测复合材料表面产生的等离子体特征光谱数据，利用步骤S3得到的等离子体特征光谱数据与对应粗糙度的定标关系，确定待测复合材料的表面粗糙度。
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