[发明专利]晶体生长装置及生长方法在审
| 申请号： | 201810900366.2 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110820043A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 狄聚青;朱刘;刘运连;赵颂;袁静 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B29/06;C30B29/28;C30B29/30;C30B29/46;C30B29/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶体生长装置，其包括一石英炉、一底座、一顶盖、一提拉机构以及一籽晶；底座和顶盖分别固定于石英炉的下表面和上表面；石英炉包括一坩埚、包覆坩埚的保温材料、围绕坩埚的一加热器、一进气管、一波纹管、一籽晶杆、一出气管；坩埚内置有熔体，籽晶与熔体的液面相接；保温材料上部开设有上下贯穿的第一通孔，顶盖开设有上下贯穿的第二通孔，波纹管连接于顶盖和提拉机构之间，石英炉、顶盖、波纹管、提拉机构共同形成一炉腔，籽晶杆上下贯穿第一通孔、第二通孔，且籽晶杆两端分别连接籽晶和提拉机构；进气管贯穿底座而与炉腔连通；出气管贯穿顶盖，出气管的一端与炉腔连通。本发明同时涉及一种晶体生长方法。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 装置 生长 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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