[发明专利]一种具有三维结构表面的热阴极及其制备方法在审
| 申请号： | 201810900938.7 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109065420A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 郝广辉;邵文生;张珂;李泽鹏 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | H01J1/13 | 分类号： | H01J1/13;H01J9/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有三维结构表面的热阴极及其制备方法，属于真空元器件技术领域。所述热阴极包括浸渍铝酸盐的多孔钨基和形成于多孔钨基表面的贵重金属薄膜，所述多孔钨基的发射表面开槽形成规则排列的凹陷结构。本发明还公开了该热阴极的制备方法。本发明提供的热阴极可增加阴极电子发射面的有效面积，从而显著提高阴极的电流发射强度，为真空微波器件的理想电子源。 | ||
| 搜索关键词： | 热阴极 多孔钨 制备 三维结构表面 真空微波器件 浸渍 阴极 元器件技术 凹陷结构 发射表面 规则排列 贵重金属 阴极电子 有效面积 发射 电子源 基表面 铝酸盐 开槽 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种具有三维结构表面的热阴极，包括浸渍铝酸盐的多孔钨基和形成于多孔钨基表面的贵重金属薄膜，其特征在于，所述多孔钨基的发射表面开槽形成规则排列的凹陷结构。
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