[发明专利]一种新型高密度ITO靶材制备方法在审
| 申请号： | 201810901538.8 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110818404A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 唐安泰 | 申请（专利权）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/626;C04B35/622;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 任重;冯振宁 |
| 地址： | 412000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材制造领域，具体为一种新型高密度ITO靶材制备方法。该制备方法为：将粒度均一的氧化铟粉末和氧化锡粉末混合，经造粒、冷等静压成型和烧结后制得高密度ITO靶材。利用氧化铟粉末和氧化锡粉末的表面亲和力，在造粒过程中不需要添加粘接剂和分散剂，同时在后续制备过程中无需脱脂。本发明开创性的利用氧化铟和氧化锡之间的表面亲和力，减少了工艺流程，无需脱脂，提高了生产效率，节约了制备成本，制备的ITO靶材密度高，质量稳定，能大规模应用于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 高密度 ito 制备 方法 | ||
【主权项】：
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