[发明专利]一种薄膜晶体管的制作方法、晶体管和显示基板

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管的制作方法、薄膜晶体管和显示基板，其中方法包括：形成栅绝缘层；在栅绝缘层上形成栅金属层；在栅金属层上形成光刻胶的图形，以光刻胶的图形为掩膜对栅金属层进行刻蚀，形成栅极；在预设温度下烘烤光刻胶，以使光刻胶流动后包覆栅极的上表面和侧表面；以栅极以及包覆栅极的光刻胶为掩膜对栅绝缘层进行干刻，形成栅绝缘层的图形。利用栅极及包覆栅极的光刻胶为掩膜对栅绝缘层进行干刻时，可避免干刻时的等离子体对栅极金属造成轰击导致栅极金属散射入薄膜晶体管的沟道的技术问题，也就避免了散射到沟道的栅极金属影响沟道电压阈值稳定性的技术问题，优化了所制作的薄膜晶体管的阈值电压的均一性。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括：形成栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成栅金属层；在所述栅金属层上形成光刻胶的图形，以所述光刻胶的图形为掩膜对所述栅金属层进行刻蚀，形成栅极；在预设温度下烘烤所述光刻胶，以使所述光刻胶流动后包覆所述栅极的上表面和侧表面；以所述栅极以及包覆所述栅极的光刻胶为掩膜对所述栅绝缘层进行干刻，形成所述栅绝缘层的图形。