[发明专利]具有表面凹槽结构的曲面基板及其制作方法有效
| 申请号： | 201810902134.0 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110824848B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 翁沛喜;许铭案 | 申请（专利权）人： | 许铭案;翁沛喜 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05K5/02 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 刘淑敏 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有表面凹槽结构的曲面基板及其制作方法，其中该制作方法包含：形成一光阻层于一曲面基板的表面上；以激光直写影像方式于该光阻层进行曝光，以形成至少一图案；对该光阻层进行显影，以去除该光阻层未被曝光的部分而使该曲面基板的表面上形成具有该至少一图案的该光阻层；对该曲面基板进行蚀刻，以于该曲面基板的表面上形成该至少一图案；移除该光阻层；根据以上制作方法制作具有表面凹槽结构的曲面基板，可实现图案化、无须光罩、低成本、图案高分辨率的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 表面 凹槽 结构 曲面 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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