[发明专利]一种稳定性佳且易于清洗的显影液在审
| 申请号： | 201810902723.9 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109143798A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 吕永刚;赵东昊;郑峰 | 申请（专利权）人： | 苏州纳勒电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 张汉钦 |
| 地址： | 215000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种稳定性佳且易于清洗的显影液，其由碱性显影剂、稳定剂和水组成，其中，各个物质按重量份计分别为：碱性显影剂10‑40份，稳定剂10‑40份和去离子水30‑100份。本发明的稳定性佳且易于清洗的显影液利用水溶性醇类物质作为稳定剂，既增加了显影液对光阻膜的溶解效果，对干膜残渣有很好的溶解性，且与碱性显影剂兼容性好，使得本发明的显影液配方稳定。此外，本发明的显影液的碱性显影剂选用无机碱类与其相应的碳酸盐复配而形成pH较为稳定的强碱体系，使得显影液的pH保持稳定。而且，本发明的显影液的各个配方组分均为水溶性佳的物质，因而在对显影槽进行清洗时非常快捷，省时省水。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 碱性显影剂 清洗 稳定剂 碳酸盐 水溶性醇类 显影液配方 干膜残渣 强碱体系 去离子水 无机碱类 兼容性 显影槽 重量份 复配 省时 省水 配方 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种稳定性佳且易于清洗的显影液，其由碱性显影剂、稳定剂和水组成，其中，各个物质按重量份计分别为：碱性显影剂10‑40份，稳定剂10‑40份，去离子水30‑100份，所述稳定剂为二乙二醇，二丙二醇，乙二醇，丙二醇中的至少一种，所述碱性显影剂为显影主剂和显影助剂的复合物，所述显影主剂为氢氧化钾或氢氧化钠，所述显影助剂为无机碳酸盐。
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