[发明专利]等离子体设备和等离子体系统有效
| 申请号： | 201810903582.2 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110828273B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 成晓阳;韦刚 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体设备和等离子体系统。所述等离子体设备包括多个子腔室，多个所述子腔室沿竖直方向堆叠设置。可提高等离子体设备所在厂房的空间利用率，提高产能，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 设备 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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