[发明专利]乙硅烷的制备方法在审
| 申请号： | 201810903987.6 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN108862282A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 万烨;刘见华;严大洲;赵雄;郭树虎;赵宇 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明一实施方式提供了一种乙硅烷的制备方法，包括如下步骤：提供改良西门子法产生的氯代乙硅烷副产物；将所述副产物进行过滤，得到滤液；将所述滤液通过精馏处理，得到氯代乙硅烷的纯化液；以及，还原所述纯化液中的氯代乙硅烷，制得所述乙硅烷。本发明一实施方式的制备方法，通过对改良西门子法多晶硅生产过程中的氯代乙硅烷进行回收、精制，制备出满足半导体行业应用的高纯乙硅烷。 | ||
| 搜索关键词： | 乙硅烷 氯代 制备 改良西门子法 纯化液 副产物 多晶硅生产过程 半导体行业 高纯 精馏 过滤 还原 精制 回收 应用 | ||
【主权项】：
1.一种乙硅烷的制备方法，包括如下步骤：提供改良西门子法产生的氯代乙硅烷副产物；将所述副产物进行过滤，得到滤液；将所述滤液通过精馏处理，得到氯代乙硅烷的纯化液；以及还原所述纯化液中的氯代乙硅烷，制得所述乙硅烷。
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