[发明专利]一种用于无掩膜光刻机双波段UV光源的控制电路在审
| 申请号： | 201810904655.X | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109143790A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 魏云飞 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05B33/08 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于无掩膜光刻机双波段UV光源的控制电路，包括控制单元，其第一模拟量控制接口A_DIM1与第一驱动电源的模拟量输入接口A_D1连接，其第二模拟量控制接口A_DIM2与第二驱动电源的模拟量输入接口A_D2连接，控制单元的使能接口EN分别与第一驱动电源的使能接口EN1、第二驱动电源的使能接口EN2连接，第一UV光源包括第一发光二极管LED1和第一热敏电阻RF1，所述第二UV光源包括第二发光二极管LED2和第二热敏电阻RF2。本发明中UV光源的功率越大温度会越高，当温度超高光源可承受范围就会影响光源寿命，热敏电阻在这个时候起到至关重要的作用，控制单元通过采样热敏电阻阻值，来设定温度保护阈值，当反馈值超出阈值，控制单元自动关闭UV光源，起到保护光源的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动电源 热敏电阻 使能 模拟量输入接口 发光二极管 模拟量控制 控制电路 光刻机 双波段 掩膜 光源 温度保护 影响光源 采样 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种用于无掩膜光刻机双波段UV光源的控制电路，其特征在于：包括控制单元（1）、第一驱动电源（2）、第二驱动电源（3）、第一UV光源（4）和第二UV光源（5），所述控制单元（1）的第一模拟量控制接口A_DIM1与第一驱动电源（2）的模拟量输入接口A_D1连接，控制单元（1）的第二模拟量控制接口A_DIM2与第二驱动电源（3）的模拟量输入接口A_D2连接，控制单元（1）的使能接口EN分别与第一驱动电源（2）的使能接口EN1、第二驱动电源（3）的使能接口EN2连接，控制单元（1）的第一温度反馈输入端口与第一UV光源（4）的温度反馈输出端口相连，控制单元（1）的第二温度反馈输入端口与第二UV光源（5）的温度反馈输出端口相连，第一驱动电源（2）的驱动电源输出端口与第一UV光源（4）的UV驱动输入端口相连，第二驱动电源（3）的驱动电源输出端口与第二UV光源（5）的UV驱动输入端口相连；所述第一UV光源（4）包括第一发光二极管LED1和第一热敏电阻RF1，所述第二UV光源（5）包括第二发光二极管LED2 和第二热敏电阻RF2。
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