[发明专利]旋入旋出装置和片库设备有效
| 申请号： | 201810904673.8 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110824849B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陶洪建;郑教增;姜杰;郑锋标;唐文力;文静;张明辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种旋入旋出装置和片库设备，片库设备包括：片库框架、旋入旋出装置和操作面板，所述旋入旋出装置的支架安装在所述片库框架上，所述操作面板固定在所述操作臂上；旋入旋出装置包括：支架、操作臂和调整臂，所述操作臂的一端通过转动结构连接在所述支架上，所述操作臂具有容置腔室，所述调整臂通过可伸缩弹性元件连接在所述操作臂的容置腔室内，所述操作臂的另一端安装有待旋入旋出对象，所述调整臂的一端旋转连接所述操作臂，所述调整臂的另一端为悬置端，所述操作臂与所述支架之间连接有氮气弹簧，可以满足当片库处于运输或转移状态时，操作面板位于一个位置，当操作人员操作时，操作面板位于另一个位置的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 旋入旋出 装置 设备 | ||
【主权项】：
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