[发明专利]一种半导体器件高温电特性测试装置及方法有效
| 申请号： | 201810906443.5 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109212399B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 查祎英;金锐;李玲;董少华;吴鹏飞;张璧君;杨霏;潘艳 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李博洋 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体器件高温电特性测试装置及方法，该装置包括：脉冲电源、恒温加热设备、电特性测试设备，在第一预设时间内，脉冲电源向待测器件提供电流脉冲，恒温加热设备对待测器件进行加热；在第一预设时间后，脉冲电源与待测器件的连接断开，恒温加热设备对待测器件进行调温，使待测器件的结温达到并保持目标温度；电特性测试设备对待测器件进行高温电特性测试。通过实施本发明，使待测器件在自身损耗和恒温加热装置的共同作用下加热，升温速度快；电特性测试设备在器件升温过程中不与器件接触，避免受高温影响；脉冲电源与电特性测试设备在测试期间断开，避免两个设备相互影响，使得测试过程更加安全，且可以连续的长时间快速大批量测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 高温 特性 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件高温电特性测试装置，其特征在于，包括：脉冲电源、恒温加热设备、电特性测试设备，其中，在第一预设时间内，所述脉冲电源向待测半导体器件提供电流脉冲，所述恒温加热设备对所述待测半导体器件进行加热；在所述第一预设时间后，所述脉冲电源与所述待测半导体器件的连接断开，所述恒温加热设备对所述待测半导体器件进行调温，使所述待测半导体器件的结温达到并保持在预设目标温度；所述电特性测试设备对所述待测半导体器件进行高温电特性测试。
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