[发明专利]工艺文件生成方法、工艺控制系统、控制装置和存储介质

摘要

本申请公开了一种工艺文件生成方法、工艺控制系统、控制装置、存储介质，包括：非基准工艺设备的控制装置获取一基准工艺设备的基准工艺文件，基准工艺文件包括基准工艺设备的配置参数；非基准工艺设备的控制装置根据非基准工艺设备的工艺配置和基准工艺文件中的配置参数确定非基准工艺设备的配置参数，生成非基准工艺设备的工艺文件，非基准工艺设备的工艺配置包括非基准工艺设备的配置参数与基准工艺设备的配置参数之间的差异信息，非基准工艺设备的工艺文件包括非基准工艺设备的配置参数。本申请通过各工艺设备与基准工艺设备的配置参数的差异信息来自动生成所述非基准工艺设备的工艺文件，提高了各工艺设备生成工艺文件的效率及可靠性。

主权项

1.一种工艺文件生成方法，包括：非基准工艺设备的控制装置获取一基准工艺设备的基准工艺文件，所述基准工艺文件包括所述基准工艺设备的配置参数；所述非基准工艺设备的控制装置根据所述非基准工艺设备的工艺配置和所述基准工艺文件中的配置参数确定所述非基准工艺设备的配置参数，生成所述非基准工艺设备的工艺文件，所述非基准工艺设备的工艺配置包括所述非基准工艺设备的配置参数与所述基准工艺设备的配置参数之间的差异信息，所述非基准工艺设备的工艺文件包括所述非基准工艺设备的配置参数。