[发明专利]机台控制系统及方法在审
| 申请号： | 201810908948.5 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN110824968A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 董祥威 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种机台控制系统及方法，该系统包括：下位机；上位机，包括控制单元、服务配置单元和功能流程单元，其中，控制单元用于控制下位机执行所述机台的功能流程；服务配置单元配置有用于执行机台的功能流程的动作指令信息，且能够与控制单元进行交互；功能流程单元存储有由用户编辑的机台的功能流程，且能够与控制单元进行交互。机台控制系统及方法的技术方案，可以实现机台功能流程的可编辑功能，从而可以提高机台功能流程添加/修改的灵活性、便捷性、自动化程度，进而可以节省人力和时间成本。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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