[发明专利]热电堆红外探测器及采用该探测器的360°环视阵列探测装置有效
| 申请号： | 201810913506.X | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN109238474B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 杨卫;毛海央;杨玉华;邓立齐;刘希宾;段晓敏;金晓会;刘宁;曾亮;刘珊;孟庆霄;王琳玮 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;G01J5/02;G01J5/08 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;曹一杰 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热电堆红外传感器阵列设计技术，具体为一种热电堆红外探测器及采用该探测器的360º环视阵列探测装置。本发明将8个基于CMOS工艺的MEMS热电堆红外传感器粘贴于封装底座上，通过键合工艺将各个热电堆引线焊盘和封装底座管脚键合引线，键合完好的结构置于光电探台中心，8个热电堆分别对应光电探台8个锥孔的中心，热电堆感光面沿光学通路向外。光电探台上的锥孔分别装有镀有增透膜的红外光学透镜，该结构能够远距离感知周围运动目标，待目标进入感知视场，目标辐射出的红外信号透过红外光学透镜进入光电探台，通过锥形光学通路，聚焦于热电堆红外传感器感光面，最终实现360º全视角目标的感知。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 红外探测器 采用 探测器 360 环视 阵列 探测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种热电堆红外探测器，其特征在于，探测器的结构可分为六层，由下至上依次是PI柔性衬底（1），电路层（2），第一绝缘层PI（3），作为感光区的敏感单元（4），第二绝缘层PI（5）以及作为感光面的红外透镜阵列层（6）；该结构的侧面为引线键合焊盘。
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