[发明专利]一种钕铁硼陶瓷表面金属化磁控溅射镀膜生产线

摘要

本发明公开了一种钕铁硼陶瓷表面金属化磁控溅射镀膜生产线，包括翻转模块、升降模块、进出片模块、真空镀膜模块、出片升降模块，所述真空镀膜模块由多个真空腔体和多个腔体支架组成，且所有的真空腔体都安装在腔体支架上，所述真空腔体内部设有内传送系统，所述真空腔体上方配置有维护行车，所述腔体支架上安装有基片回传系统，所述真空镀膜模块分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、镀膜工艺真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段，本发明实现了小型陶瓷片磁控溅射金属化镀膜的大批量连续生产，每天的产能可以达到6万‑10万片，尤其适合钕铁硼磁性陶瓷片表面双面金属化功能膜的镀膜，可以满足市场化的需求。

主权项

1.一种钕铁硼陶瓷表面金属化磁控溅射镀膜生产线，包括翻转模块(1)、升降模块(2)、进出片模块(3)、真空镀膜模块(4)、出片升降模块(5)；其特征在于：所述真空镀膜模块(4)由多个真空腔体(6)和多个腔体支架(7)组成，且所有的真空腔体(6)都安装在腔体支架(7)上，所述真空腔体(6)内部设有内传送系统(12)，所述真空腔体(6)上方配置有维护行车(14)，所述腔体支架(7)上安装有基片回传系统(13)，所述真空镀膜模块(4)分为进口真空段(41)、进口缓冲真空段(42)、进口过渡真空段(43)、镀膜工艺真空段(44)、出口过渡真空段(45)、出口缓冲真空段(46)和出口真空段(47)七段，所述进口真空段(41)由真空腔体(6‑1)和腔体支架(7‑1)组成，所述真空腔体(6‑1)进口处设有隔离阀(10‑1)，所述真空腔体(6‑1)顶板上设有腔体维修门(11)，所述腔体维修门(11)旁边设有低真空前级抽气系统(8)，所述低真空前级抽气系统(8)通过的抽气管道(18)连接到真空腔体(6‑1)的底部，所述抽气管道(18)上设置有真空阀门(17)，所述真空腔体(6‑1)的侧边设计有过滤充气装置(19)，所述进口缓冲真空段(42)由真空腔体(6‑2)和腔体支架(7‑2)组成，所述真空腔体(6‑2)与真空腔体(6‑1)连接，且连接处设有隔离阀(10‑2)，所述真空腔体(6‑2)顶板上设有腔体维修门(11)，底板上安装有高真空抽气系统(91)，所述高真空抽气系统(91)由不少于两个分子泵(20)组成，所述分子泵(20)通过挡板阀(21)和管道(22)与高真空前级抽气系统(92)连接，所述进口过渡真空段(43)由真空腔体(6‑3)和腔体支架(7‑3)组成，所述真空腔体(6‑3)与真空腔体(6‑2)连接，且连接处设有隔离阀(10‑3)，所述真空腔体(6‑3)顶板上设有腔体维修门(11)，底板上安装有高真空抽气系统(91)，所述高真空抽气系统(91)由不少于两个分子泵(20)组成，所述分子泵(20)通过挡板阀(21)和管道(22)与高真空前级抽气系统(92)连接，所述镀膜工艺真空段(44)由不少于一个独立的工艺真空段组成，每个独立的工艺真空段由真空腔体(6‑4)和腔体支架(7‑4)组成，所述真空腔体(6‑4)底板上安装有安装有高真空抽气系统(91)，所述高真空抽气系统(91)由不少于两个分子泵(20)组成，所述分子泵(20)通过挡板阀(21)和管道(22)与高真空前级抽气系统(92)连接，所述出口过渡真空段(45)由真空腔体(6‑5)和腔体支架(7‑5)组成，所述真空腔体(6‑5)与真空腔体(6‑4)连接，且连接处设有隔离阀(10‑4)，所述真空腔体(6‑5)的顶板上设有腔体维修门(11)，底板上安装有安装有高真空抽气系统(91)，所述高真空抽气系统(91)由不少于两个分子泵(20)组成，所述分子泵(20)通过挡板阀(21)和管道(22)与高真空前级抽气系统(92)连接，所述出口缓冲真空段(46)由真空腔体(6‑6)和腔体支架(7‑6)组成，所述真空腔体(6‑6)与真空腔体(6‑5)连接，且连接处设有隔离阀(10‑5)，所述真空腔体(6‑6)的顶板上设有腔体维修门(11)，底板上安装有安装有高真空抽气系统(91)，所述高真空抽气系统(91)由不少于两个分子泵(20)组成，所述分子泵(20)通过挡板阀(21)和管道(22)与高真空前级抽气系统(92)连接，所述出口真空段(47)由真空腔体(6‑5)和腔体支架(7‑5)组成，所述真空腔体(6‑5)口处设有隔离阀(10‑6)，所述真空腔体(6‑7)顶板上设有腔体维修门(11)，所述腔体维修门(11)旁边设有低真空前级抽气系统(8)，所述低真空前级抽气系统(8)由机械泵(15)与罗茨泵(16)组成，所述低真空前级抽气系统(8)通过的抽气管道(18)连接到真空腔体(6‑1)的底部，所述抽气管道(18)上设置有真空阀门(17)，所述真空腔体(6‑1)的侧边设计有过滤充气装置(19)。