[发明专利]一种复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法有效
| 申请号： | 201810915435.7 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN108957965B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 文静;陈磊;余彬彬;张大伟 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B7/0045 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合材料相位板的加工制作方法。首先使用飞秒激光双光子吸收原理，在光刻胶内部逐点逐层进行固化形成螺旋状或双斜坡状光刻胶相位板，然后将光刻胶相位板内嵌在圆柱腔内部，灌入合适的透明介质液体，形成复合材料相位板。使用本发明的方法制得的复合材料的相位板，可以被应用于双光束超分辨光存储光路系统中，也可以被应用于受激发射损耗荧光显微系统(STED)中，起到调整光束相位分布的作用。更进一步地，使用本发明制得的复合材料相位板，可以在多个波长组合下工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合材料 相位 激光 光子 加工 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种复合材料相位板的飞秒激光双光子加工与制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在三维位移台上固定基底；步骤2：在所述基底上涂覆光刻胶；步骤3：使用飞秒激光双光子吸收原理，在所述光刻胶内部逐点逐层进行固化，在加工结束后去掉未固化的光刻胶，形成光刻胶相位板；步骤4：将所述单材料相位板内嵌于一个密封圆柱腔内，所述圆柱腔的上端、下端各包括一个可开启的端口；步骤5：封闭所述圆柱腔的下端口，打开所述圆柱腔的上端口，并从所述上端口灌入折射率匹配液或者折射率可变液体，使得所述折射率匹配液或者折射率可变液体将所述圆柱腔的剩余内部空间全部填满，形成复合材料相位板。
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