[发明专利]一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法有效
| 申请号： | 201810917874.1 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN109261646B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 艾自红;安志恒;沙刚;靳慎豹;胡蓉 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 邹伟红 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法，方法包括：将三维原子探针近局域电极装于聚焦离子束样品台上，将带三维原子探针近局域电极的样品台放置在聚焦离子束中；在聚焦离子束中，倾转样品台，调整成像补偿角度，调整工作距离；将要切的三维原子探针近局域电极在FIB图像模式下对齐到最中心；将FIB的环切环的外环与三维原子探针近局域电极中心环上的突起缺陷的根部对齐，内环与中心环上突起缺陷的顶端边缘对齐，环切到三维原子探针近局域电极环表面无杂质。本发明提供的清理方法，通过聚焦离子束清理局域电极，实现了三维原子探针近局域电极的彻底清理，尤其是内部的彻底清理，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 聚焦 离子束 清理 三维 原子 探针 局域 电极 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极的方法，其特征在于，采用环状的聚焦离子束清理三维原子探针近局域电极(7)中心的环周状内表面。
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