[发明专利]一种太赫兹芯片

摘要

一种太赫兹芯片，包括三五族衬底，所述三五族衬底上方设置有外延层，三五族基片通过过渡层与外延层连接，所述外延层上表面中部设置有肖特基结，环绕肖特基结设置有氧化层，所述氧化层固定敷设在外延层的上表面上，所述氧化层与外延层之间设置有P型扩散区，所述肖特基结、P型扩散区和氧化层上均设置有电极金属。本发明的芯片厚度小，抗瞬态干扰能力强，芯片的工作频率高，倍频混频等功能效果好。

主权项

1.一种太赫兹芯片，其特征在于：包括三五族衬底（1），所述三五族衬底（1）上方设置有外延层（4），三五族基片（1）通过过渡层（5）与外延层（4）连接，所述外延层（4）上表面中部设置有肖特基结（2），环绕肖特基结（2）设置有氧化层（3），所述氧化层（3）固定敷设在外延层（4）的上表面上，所述氧化层（3）与外延层（4）之间设置有P型扩散区（6），所述肖特基结（2）、P型扩散区（6）和氧化层（3）上均设置有电极金属。