[发明专利]电子束垂直、水平诱导硅定向凝固除杂的方法在审

专利信息
申请号: 201810924240.9 申请日: 2018-08-14
公开(公告)号: CN108910892A 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 石玉婷;石爽;任世强;王凯 申请(专利权)人: 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 巩同海
地址: 266234 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种电子束垂直、水平诱导硅定向凝固除杂的方法,属于硅的纯化技术领域。其通过电子束的诱导,使硅液自下而上定向凝固,硅中的金属杂质由于分凝作用向液相富集;当硅液凝固到一定高度时,控制电子束扫描的区域,诱导金属杂质沿水平方向收敛到杂质收集区。本发明通过电子束诱导将金属杂质富集到铸锭顶部后,进一步富集到特定区域,抑制了金属杂质的反扩散,杂质去除效果更好。
搜索关键词: 电子束 定向凝固 金属杂质 富集 诱导 除杂 垂直 电子束扫描 电子束诱导 硅液凝固 诱导金属 杂质去除 杂质收集 分凝 硅液 铸锭 收敛 扩散
【主权项】:
1.一种电子束垂直、水平诱导硅定向凝固除杂的方法,其特征在于,通过电子束的诱导,使硅液自下而上定向凝固,硅中的金属杂质由于分凝作用向液相富集;当硅液凝固到一定高度时,控制电子束扫描的区域,诱导金属杂质沿水平方向收敛到杂质收集区。
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