[发明专利]一种极限电流型氧传感器片芯及其制造方法有效
申请号: | 201810926239.X | 申请日: | 2018-08-15 |
公开(公告)号: | CN109060921B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 陈荣浪 | 申请(专利权)人: | 苏州工业园区福特斯汽车电子有限公司 |
主分类号: | G01N27/41 | 分类号: | G01N27/41 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 董慧婷 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及到片式氧传感器芯片技术领域,尤其涉及到一种极限电流型氧传感器片芯及其制造方法,属于特种功能无机非金属材料及汽车电子先进制造领域。所述极限电流型氧传感器片芯由氧化铝多孔保护层,氧离子快离子导体扩散层,泵电池上电极,泵电池介质层,泵电池下电极,槽形注模层,注模基板上层,加热电极层和注模基板上层依次相叠构成。该极限电流型氧传感器片芯的强度和成品率高。生产工艺简单可靠,改善了加热电极的可控性和可靠性,确保了氧传感器具有高的信号强度和信号灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 一种 极限 电流 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种极限电流型氧传感器片芯,其特征在于:所述极限电流型氧传感器片芯由氧化铝多孔保护层(1),氧离子快离子导体扩散层(2),泵电池上电极(3),泵电池介质层(4),泵电池下电极(5),槽形注模层(6),注模基板上层(7),加热电极层(8)和注模基板上层(9)依次相叠构成。
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