[发明专利]极小漏率真空标准漏孔

摘要

本发明公开了一种极小漏率真空标准漏孔，包括气体抽除装置、压力侧支撑法兰、真空侧支撑、漏孔测试端接口和多余气体抽除接口，其中，示漏气体通过压力侧支撑法兰中间的压力侧通孔加压到渗透材料上，气体抽除装置靠近真空侧支撑的圆周上设置抽气小孔，通过双道密封圈确保该空间内处于真空状态；压力侧支撑法兰面对真空侧支撑一侧上加工有第三密封圈安装槽，以固定用于密封的第三密封圈以起到密封示漏气体不从渗透材料边缘处泄漏。本发明能够有效减少从渗透材料边缘泄漏出来的气体对标准漏孔漏率的影响，降低漏率测量不确定度，提高超灵敏度检漏的可靠性。

主权项

1.极小漏率真空标准漏孔，包括轴心为通孔结构的气体抽除装置、压力侧支撑法兰、真空侧支撑、漏孔测试端接口和多余气体抽除接口，气体抽除装置的通孔结构外具有一中空空间且相对两侧分别设置有压力侧支撑法兰和漏孔测试端结构，气体抽除装置的另一侧壁上设置与中空空间连通的多余气体抽除接口以抽除多余的气体，其中，漏孔测试端接口与通孔结构连通，在其相对的气体抽除装置一侧上设置真空侧支撑，示漏气体通过压力侧支撑法兰中间的压力侧通孔加压到渗透材料上，气体抽除装置靠近真空侧支撑的圆周上设置若干抽气小孔，抽气小孔的一侧与内部的中空空间结构连通，另一侧支撑有渗透材料，抽气小孔的流导远大于微孔或渗透材料的流导；双道密封圈的内侧密封圈用于密封渗透材料，外侧密封圈用于密封外界与抽气小孔之间，确保该空间内处于真空状态；压力侧支撑法兰面对真空侧支撑一侧上加工有第三密封圈安装槽，以固定用于密封的第三密封圈以起到密封示漏气体不从渗透材料边缘处泄漏。