[发明专利]一种检测薄膜水蒸气透过率的测试装置及其测试方法在审
| 申请号： | 201810930255.6 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN109060625A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 孙鹏帅;夏滑;庞涛;张志荣;崔小娟;吴边;董凤忠 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种检测薄膜水蒸气透过率的测试装置及其测试方法。测试装置包括渗透腔和水蒸气检测系统。渗透腔包括湿腔与干腔；湿腔与干腔之间用于装夹检测薄膜，检测薄膜将湿腔与干腔隔开；湿腔顶部设有样气入口和样气出口；干腔底部设有载气入口和载气出口。水蒸气浓度检测系统包括安装在干腔内的多次反射池、激光器、光电探测器和激光器驱动及处理单元。激光器的输入端与激光器驱动及处理单元的输出端相连，输出端与多次反射池相连。光电探测器的输入端与多次反射池相连，光电探测器的输出端与激光器驱动及处理单元的输入端相连。本发明能够实现薄膜水蒸气透过率的免标定、快速、无扰和较大线性区间的准确测量，且能简化薄膜水蒸气透气率测试程序，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 干腔 湿腔 水蒸气透过率 水蒸气 多次反射池 光电探测器 激光器驱动 测试装置 处理单元 输入端 激光器 渗透腔 输出端 种检测 浓度检测系统 输出端相连 测试 测试程序 测试效率 检测系统 线性区间 样气出口 样气入口 载气出口 载气入口 准确测量 透气率 标定 检测 隔开 装夹 | ||
【主权项】：
1.一种检测薄膜水蒸气透过率的测试装置，其特征在于：包括渗透腔和水蒸气检测系统；所述渗透腔包括自上向下依次设置的湿腔与干腔；所述湿腔与干腔之间用于装夹检测薄膜，检测薄膜将湿腔与干腔隔开；所述湿腔顶部设有样气入口和样气出口；所述干腔底部设有载气入口和载气出口；所述水蒸气浓度检测系统包括多次反射池、DFB激光器、光电探测器和激光器驱动及处理单元；所述多次反射池安装在干腔内；所述DFB激光器的输入端与激光器驱动及处理单元的输出端相连，DFB激光器的输出端通过入射光纤与多次反射池相连；所述光电探测器的输入端通过出射光纤与多次反射池相连，光电探测器的输出端与激光器驱动及处理单元的输入端相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院合肥物质科学研究院，未经中国科学院合肥物质科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810930255.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
