[发明专利]一种质量厚度为700-1400μg/cm2 有效
| 申请号： | 201810933359.2 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109136831B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 欧志清 | 申请（专利权）人： | 广州本康环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人： | 卢浩 |
| 地址： | 510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学大*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种大尺度自支撑锗薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统在衬底表面沉积氧化铝缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统再次沉积锗薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将锗薄膜捞起，得到质量厚度为700‑1400μg/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 质量 厚度 700 1400 cm base sup | ||
【主权项】：
1.一种质量厚度为700‑1400μg/cm2自支撑锗薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统在衬底表面沉积氧化铝缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧（FCVA）系统再次沉积锗薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将锗薄膜捞起，得到质量厚度为700‑1400μg/cm2自支撑锗薄膜。
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