[发明专利]一种等离子体处理工艺的控制方法在审
| 申请号： | 201810935720.5 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109243957A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 游代华 | 申请（专利权）人： | 游代华 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 643000 四川省自*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体处理工艺的控制方法，包括获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；本发明可灵活根据配置的工艺数据，实时控制工艺设备执行相应的工艺操作。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺数据 工艺步骤 等离子体处理 参数管理表 工业组态 工艺操作 工艺设备 监控设备 工艺流程 配置的 封装 工艺参数控制 实时控制 数据通讯 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理工艺的控制方法，其特征在于，包括获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作；在所述工艺设备执行工艺操作过程中，获取所述工业组态监控设备从所述工艺设备监测到的工艺操作状态实时信息，其中，所述工艺操作状态实时信息包括正在执行的工艺步骤及对应工艺步骤下的实际工艺参数；将所述工艺操作状态实时信息中正在执行的工艺步骤和实际工艺参数，与所述已配置的工艺数据中的工艺步骤和工艺参数，进行对比；根据所述对比结果，反向控制所述工业组态监控设备调整正在执行的工艺操作。
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