[发明专利]一种真空低温磁控溅射镀膜机在审
| 申请号： | 201810936083.3 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN108728810A | 公开（公告）日： | 2018-11-02 |
| 发明（设计）人： | 潘振强;朱惠钦 | 申请（专利权）人： | 广东振华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 526020 广东省肇庆市端*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体公开真空低温磁控溅射镀膜机，包括底座、真空镀膜室、工件架组件，还包括旋转传动系统，所述旋转传动系统驱动工件架组件转动，还包括镀层厚度在线测量装置、旋转水冷输入装置，所述镀层厚度在线测量装置包括安装在其中一工件夹具上的晶振仪和用于传输晶振仪模拟信号的信号传输装置，所述晶振仪与信号传输装置电连接；所述旋转水冷输入装置与晶振仪、及用于安装晶振仪的工件夹具之间分别通过进水管和出水管连接以形成进水回路和排水回路。该真空低温磁控镀膜机兼顾较好地降温效果的同时，能实时在线监测膜层的厚度，确保膜层厚度监测的准确性，此外，镀膜效果好，可镀膜的基材材料适用范围广，镀膜机使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 晶振 真空低温 磁控溅射镀膜机 信号传输装置 旋转传动系统 在线测量装置 工件夹具 输入装置 工件架 旋转水 镀层 膜层 实时在线监测 真空镀膜设备 真空镀膜室 磁控镀膜 镀膜效果 厚度监测 基材材料 降温效果 进水回路 模拟信号 排水回路 使用寿命 组件转动 出水管 电连接 镀膜机 进水管 底座 镀膜 驱动 传输 | ||
【主权项】：
1.一种真空低温磁控溅射镀膜机，包括底座、固定在底座上的真空镀膜室，所述真空镀膜室内设有工件架组件，还包括旋转传动系统，所述旋转传动系统驱动工件架组件转动，其特征在于：所述工件架组件包括上支撑架、上支撑盘、下支撑架和下支撑盘，以及若干工件夹具；还包括镀层厚度在线测量装置、旋转水冷输入装置，所述镀层厚度在线测量装置包括安装在其中一工件夹具上的晶振仪和用于传输晶振仪模拟信号的信号传输装置，所述晶振仪与信号传输装置电连接；所述旋转水冷输入装置上设有进水口和出水口，所述旋转水冷输入装置与晶振仪、及用于安装晶振仪的工件夹具之间分别通过进水管和出水管连接以形成进水回路和排水回路。
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