[发明专利]一种纳米多孔硅单凸透镜的制备方法有效
| 申请号： | 201810936266.5 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109082703B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 龙永福 | 申请（专利权）人： | 湖南文理学院 |
| 主分类号： | C25F3/30 | 分类号： | C25F3/30;G02B3/00 |
| 代理公司： | 常德市源友专利代理事务所(特殊普通合伙) 43208 | 代理人： | 江妹 |
| 地址： | 415000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米多孔硅单凸透镜的制备方法，该方法是将常规作为电极的薄铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的一个球冠做成阴极，且球冠形薄铂片的凸面背离硅片，使用圆形平板薄铂片作为阳极，且在球冠形薄铂片与平板薄铂片之间放置硅片，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；先采用恒流源对硅片进行电抛光，而使硅片靠近球冠形薄铂片电极的一面形成凸形球表面、靠近平板薄铂片电极的一面保持平面；再将球冠形薄铂片电极换成圆形平板式薄铂片电极，对硅片进行电化学腐蚀而形成纳米多孔硅单凸透镜。通过本发明的方法，能获得纳米多孔硅单凸透镜，能广泛应用于微光机电系统，为微光机电系统领域作出了重大的贡献。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 多孔 凸透镜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米多孔硅单凸透镜的制备方法，其特征在于，该方法是将常规作为电极的薄铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的一个球冠做成阴极，且球冠形薄铂片的凸面背离硅片，使用圆形平板薄铂片作为阳极，且在球冠形薄铂片与平板薄铂片之间放置硅片，硅片的中心轴线、平板薄铂片中心轴线、球冠形薄铂片的圆心与球冠中心轴线四者重合，硅片离阴极、阳极的距离相等，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；先采用恒流源对硅片进行电抛光，而使硅片靠近球冠形薄铂片电极的一面形成凸形球表面、靠近平板薄铂片电极的一面保持平面；再将球冠形薄铂片电极换成圆形平板式薄铂片电极，对硅片进行电化学腐蚀而形成纳米多孔硅单凸透镜。
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