[发明专利]一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置在审
| 申请号： | 201810936502.3 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109104808A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 黄诗洋;张贵新;刘程;邓磊;谢宏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 曹晓斐 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，涉及微波等离子体源、微波等离子体激发技术领域，其技术方案要点包括微波波导管、插接在所述微波波导管内的非金属放电管、固定在所述非金属放电管内壁处的辅助激发导体、以及固定在所述微波波导管上且向非金属放电管内通入气体的涡旋气体发生装置；所述辅助激发导体上下两端都位于所述微波波导管内部。能够实现大气压下大体积微波等离子体的激发和维持，并且设计简单，成本低廉，使用寿命长，能实现微波等离子体意外熄灭后的重燃，让微波等离子体的激发更为简单。 | ||
| 搜索关键词： | 微波等离子体 微波波导管 使用寿命 放电管 激发 等离子体激发装置 导体 新型微波 微波等离子体源 技术方案要点 发生装置 上下两端 涡旋气体 插接 内壁 重燃 熄灭 | ||
【主权项】：
1.一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置，其特征在于：该等离子激发装置包括微波波导管（1）、插接在所述微波波导管（1）内的非金属放电管（2）、固定在所述非金属放电管（2）内壁处的辅助激发导体（3）、以及固定在所述微波波导管（1）上且向非金属放电管（2）内通入气体的涡旋气体发生装置（4）；所述辅助激发导体（3）上下两端都位于所述微波波导管（1）内部。
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