[发明专利]一种二硫化钼薄膜及其制备方法和制备系统

摘要

本发明属于二硫化钼薄膜制备技术领域，公开了一种二硫化钼薄膜及其制备方法和制备系统，所述二硫化钼薄膜及其制备系统包括：视频监控模块、温度检测模块、密封检测模块、单片机控制模块、抽气模块、加热模块、调整模块、冷却模块、报警模块、显示模块。本发明通过温度检测模块、密封检测模块实时检测温度和密封度，如果检测数据异常则通过报警模块通知工作人员，做好及时防护措施；同时通过调整模块调节钼金属蒸发的电子束流大小、硫粉末蒸发的温度以及生长时间，获得均匀的、层数可控的二硫化钼薄膜。

主权项

1.一种二硫化钼薄膜的制备方法，其特征在于，所述二硫化钼薄膜的制备方法包括以下步骤：步骤一，视频监控模块、温度检测模块、密封检测模块将监控视频和检测的数据发送给单片机控制模块；单片机控制模块接收视频监控模块的视频压缩感知模型；所述视频压缩感知模型为：xt+1＝Axt+ηt；式中，每帧测量的总次数为为动态测量次数，为静态测量次数，动态量观测矩阵和常量观测矩阵为动态测量值，为测量值常项，测量结果序列z_t和观测矩阵Φ_t，首先，通过测量值常项估计状态序列然后再用动态测量值和状态序列去计算滤波器组C；η_t为系统误差；A∈R^d×d是状态转移矩阵；y_t是t时刻的视频帧，z_t是t时刻的观测值；步骤二，检测正常时，单片机控制模块启动抽气模块将制备容器腔体本底真空抽至1×10‑3Pa以下；接着采用热传导方程的加热模块将制备容器加热温度为300～600℃；所述热传导方程为：其中，k为热传导系数，c为比热容，ρ为密度，u为温度，t为时间，a为导温系数，x，y，z是热量传播的路径；存在热源，其强度为F(x，y，z，t)，相应的热传导方程为：其中，步骤三，通过调整模块调节钼金属蒸发的电子束流大小、硫粉末蒸发的温度以及生长时间，获得均匀的、层数可控的二硫化钼薄膜；通过冷却模块将制备容器冷却到室温；步骤四，通过时间序列自回归模型检查数据异常，通过报警模块发出报警声，通过工作人员进行修整；所述时间序列自回归模型对状态数据通过一阶AR模型拟合，公式如下：式中，xt为在线监测数据的时间序列，et为正态分布序列，et～N(μe，λ2)，xt服从N(μ，σ2)的正态分布，其中μ和σ满足：μ＝μe/(1‑α)对于每个在线监测状态量，正常状态下都不应超过相应的限值，因此假设对所有的t，xt都属于区间[a，b]，a≤xt≤b：对所有a≤xt+k≤b推导：a‑αkxt≤et+k+αet+k‑1+…+αk‑1et+1≤b‑αkxt；步骤五，通过显示模块显示监控视频、温度检测数据、密封性检测数据，保持映射前后各像素亮度与其周围局部适应亮度比值不变。