[发明专利]位置检测装置有效
| 申请号： | 201810939318.4 | 申请日： | 2015-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN109059765B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 佐藤浩司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;李艳丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种位置检测装置。该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由包括在第一方向上排列的图案的第一衍射光栅与包括在所述第一方向上排列的图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测，以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅中的至少一个光栅中包括的图案的端部图案在所述第一方向上的宽度，小于所述至少一个衍射光栅的剩余图案在所述第一方向上的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种位置检测装置，该位置检测装置包括：检测单元，其被构造为对由排列有多个图案的第一衍射光栅与排列有多个图案的第二衍射光栅之间的交叠引起的莫尔条纹进行检测；以及处理单元，其被构造为基于所述莫尔条纹，获得所述第一衍射光栅与所述第二衍射光栅的相对位置，其中，所述第一衍射光栅包括周边区域和中心区域，所述周边区域至少包括两个图案，该两个图案包括所述第一衍射光栅的所述多个图案的端部图案，所述中心区域包括所述第一衍射光栅的所述多个图案的剩余图案，并且所述第一衍射光栅的周边区域中的所有图案的相邻图案之间的间隔，比所述第一衍射光栅的中心区域中的剩余图案的相邻图案之间的各个间隔宽。
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