[发明专利]高压元件及其制造方法有效
申请号: | 201810939369.7 | 申请日: | 2018-08-17 |
公开(公告)号: | CN110838513B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 黄宗义 | 申请(专利权)人: | 立锜科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/41;H01L21/336;H01L29/78 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 李兰;孙志湧 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提出一种高压元件及其制造方法。高压元件包含:半导体层、绝缘结构、第一深阱区、第二深阱区、漂移阱区、第一阱区、第二阱区、本体区、本体极、高压阱区、栅极以及源极与漏极。其中,高压阱区形成于第二深阱区中,且不接触第一深阱区、第一阱区与第二阱区,且至少部分高压阱区位于所有漂移区正下方,而抑制寄生晶体管闩锁。 | ||
搜索关键词: | 高压 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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