[发明专利]可利用连续热源的气泡驱动无阀微泵有效
| 申请号： | 201810941901.9 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109139433B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 周俊杰;荆崇波;苑士华;屈扬;王晨旭 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | F04B43/06 | 分类号： | F04B43/06;F04B53/00;F04B53/08 |
| 代理公司： | 石家庄轻拓知识产权代理事务所(普通合伙) 13128 | 代理人： | 黄辉本 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可利用连续热源的气泡驱动无阀微泵，属于泵送设备技术领域，包括刻蚀于硅片上的泵腔和微流道，泵腔入口端和出口端分别设有入口锥管和出口锥管，入口锥管大径端与泵腔相连，出口锥管小径端与泵腔相连，出口锥管大径端连通微流道；泵腔和微流道内填充流体，泵腔内设有与外部加热器连通的气泡，泵腔与微流道间通过微导气管连通，微导气管与气泡间隔设置；外部加热器持续向气泡内输入气体。本发明具有结构简单紧凑，方便携带，加工简单，有利于实现微型化和集成化，通过微导气管将膨胀的气泡内部分气体导出，在外部加热器连续输入热气体作用下，气泡体积由增大到收缩再到增大的循环过程，实现气泡驱动的连续可调节，同时极大提高微泵的驱动频率。 | ||
| 搜索关键词： | 泵腔 微流道 外部加热器 出口锥管 导气管 微泵 连通 连续热源 入口锥管 大径端 驱动 无阀 微型化 泵送设备 间隔设置 驱动频率 输入气体 填充流体 循环过程 出口端 集成化 可调节 热气体 入口端 小径端 增大的 硅片 导出 刻蚀 紧凑 收缩 膨胀 携带 加工 | ||
【主权项】：
1.一种可利用连续热源的气泡驱动无阀微泵，其特征在于，包括刻蚀于硅片上的泵腔和微流道，所述泵腔的入口端和出口端分别设有入口锥管和出口锥管，所述入口锥管的大径端与泵腔相连，所述出口锥管的小径端与泵腔相连，所述出口锥管的大径端连通微流道；所述泵腔和微流道内填充流体，所述泵腔内设有与外部加热器连通的气泡，所述泵腔与微流道间通过微导气管连通，所述微导气管与气泡间隔设置；所述外部加热器持续向气泡内输入气体。
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