[发明专利]一种防着板及其制作方法有效
| 申请号： | 201810942537.8 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109023267B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防着板，包括：一板体；多个磁铁；一后盖。所述板体的防着面上设有多个凸起以及设置于所述凸起四周的凹槽。所述防着板的背面设有多个安装槽，并且在所述安装槽内装配有永磁体或电磁铁。本发明的优点在于：在防着板中加入一定强度的磁场用以提高等离子体的运动路程，让溅射的原子在多次与氩离子撞击运动之后停留在防着板表面，使得溅射原子在防着板表面附着的更为均匀，膜质的致密度更好，延长了防着板的使用寿命，抑制颗粒的产生，从而降低镀膜成本，降低防着板的维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防着 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种防着板，其特征在于，包括：一板体(1)，包括防着面(11)和与所述防着面(11)相对的背面(12)；所述板体(1)的防着面(11)上设有若干凸起(111)以及位于每一所述凸起(111)四周的凹槽(112)；所述板体(1)的背面(12)上设有多个安装槽(121)及至少两个固定孔(122)；所述固定孔(122)设于所述板体(1)的背面(12)的两端；多个磁铁(2)，插接于所述安装槽(121)内；以及一后盖(3)，通过固定件插入所述固定孔(122)固定于所述板体(1)的背面(12)上。
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