[发明专利]一种雾回收装置及利用此装置的基板处理系统有效
| 申请号： | 201810943306.9 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109407476B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 朴庸硕;徐奎元;朴康淳;赵才衍;权烔吾;张恩洙 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;黄谦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于回收从基板处理装置的排气口排出的排气中所含的雾的雾回收装置及利用此装置的基板处理系统，包括回收腔室，与基板处理装置的排气口相连，形成有用于回收从所述排气口排出的排气中所含的雾的空间，具备排出端口，该端口用于排出回收的雾所聚集成的药液；第一回收装置，设置在所述排气口和所述回收腔室相连的部位，具备网状部件，用于回收所述雾中的第一雾；第二回收装置，至少一部分设置在所述回收腔室的内部，用于通过热交换回收第二雾，该第二雾存在于已通过所述第一回收装置的排气中，且大小小于第一雾。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 回收 装置 利用 处理 系统 | ||
【主权项】：
1.一种雾回收装置，其特征在于，包括：回收腔室，与基板处理装置的排气口相连，形成有用于回收从排气口排出的排气中所含的雾的空间，具备排出端口，该端口用于排出回收的雾所聚集成的药液；第一回收装置，设置在所述排气口与所述回收腔室相连的部位，具备网状部件，用于回收所述雾中的第一雾；和第二回收装置，至少一部分设置在所述回收腔室的内部，用于通过热交换回收第二雾，该第二雾存在于已通过所述第一回收装置的排气中，且大小小于第一雾。
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