[发明专利]适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法

摘要

本发明公开一种适用于表面附着物为陶瓷部品的清洗方法，该方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5‑3.5)：(3.5‑4.5)：(0.5‑1.5)配制而成；S2、纯水漂洗；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗；S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面pH测试；S7、超声波震荡清洗；S8、工件表面pH测试；S9、CDA吹干；S10、超声波震荡清洗；S11、加热干燥；S12、自然冷却。

主权项

1.一种适用于表面附着物为Ceramic部品的清洗方法，其特征是：所述的方法包括下述步骤：S1、化学清洗：采用氨水双氧水溶液对工件进行浸泡处理，采用的氨水双氧水溶液为体积比为H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5‑3.5)：(3.5‑4.5)：(0.5‑1.5)配制而成；S2、纯水漂洗：将步骤S1处理后的工件捞出，放入流动的纯水中浸泡冲洗30分钟以上；S3、采用硝氟酸进行中和反应，采用的硝氟酸采用硝酸和氢氟酸配比而成，配比时，各溶液的体积比为HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗：将工件在DI Water中采用无尘布进行擦洗；S5、将工件在DI Water中常温浸泡10分钟以上；S6、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6‑7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S5，重新浸泡清洗；S7、超声波震荡清洗：将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗30分钟以上；S8、工件表面PH测试：对工件表面的残留水进行PH值测试，如果其PH值满足6‑7，则转入下一工序，如果其PH值小于6或大于7，则返回步骤S7，重新浸泡清洗；S9、CDA吹干：采用经过0.1μm过滤器过滤过的CDA对工件表面吹干；S10、超声波震荡清洗：在无车车间内进行清洗，将部品放进带有超音波的DI Water槽中，进行超声波震荡清洗5分钟以上；S11、加热干燥：采用烘箱对产品进行烘烤加热干燥，干燥温度为150℃±10℃，干燥时间为1H以上；S12、自然冷却：将加热干燥后的工件自然冷却至室温即可。