[发明专利]一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法在审
| 申请号： | 201810945690.6 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN109142446A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 王璐;刘昱含;王丽娟;孙丽晶;佟万璐;边奇;朱彤 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明是一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法，采用玻璃衬底（1），Mo/Al/Mo底栅极（2），采用间歇式生长方式旋涂聚乙烯醇（PVA）和连续式生长方式旋涂聚苯乙烯（PS）形成复合绝缘层（3）形成平整的绝缘层表面。采用成核生长方式生长p‑六联苯（p‑6P）诱导层（4），采用快速蒸镀和慢速蒸镀相结合方式蒸镀酞菁氧钒（VOPc）形成孔状气体敏感层（5），最后蒸镀金材料作为底接触的叉指电极。该孔状结构的气体敏感层为分析物与传导通道中的电荷载流子相互作用提供了立体的直接接触通道，从而获得高灵敏度、快速响应的有机气体传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 有机气体传感器 孔状 蒸镀 聚合物薄膜 气体敏感层 旋涂 制备 生长 聚苯乙烯 电荷载流子 复合绝缘层 间歇式生长 绝缘层表面 叉指电极 传导通道 镀金材料 高灵敏度 结合方式 聚乙烯醇 孔状结构 快速响应 酞菁氧钒 分析物 连续式 诱导层 衬底 成核 联苯 慢速 平整 玻璃 | ||
【主权项】：
1.一种聚合物薄膜孔状立体有机气体传感器制备方法包括：玻璃衬底层（1），Mo/Al/Mo底栅极（2），聚乙烯醇（PVA）和聚苯乙烯（PS）复合绝缘层（3），p‑六联苯（p‑6P）诱导层（4），酞菁氧钒（VOPc）气体敏感层（5），金叉指电极（6）。
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