[发明专利]制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法有效
| 申请号： | 201810949420.2 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN109023513B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 覃佐燕;武红磊;郑瑞生 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/40 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备氮化铝晶体的坩埚设备及方法，坩埚设备包括坩埚体、衬底及衬底温场调整组件；其中，坩埚体的内部自下而上分为相互连通的第一腔室、第二腔室及第三腔室，且第二腔室的直径小于第一腔室与第三腔室的直径；衬底温场调整组件为中空圆柱体，衬底覆盖于坩埚体的开口，衬底温场调整组件的底面与衬底远离上述开口的表面相贴合。相较于现有技术而言，上述坩埚设备能够有效的降低氮化铝晶体的成核数，并且能够得到尺寸较大的氮化铝晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 氮化 晶体 坩埚 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备氮化铝晶体的坩埚设备，其特征在于，所述坩埚设备包括坩埚体、衬底及衬底温场调整组件；所述坩埚体的内部自下而上分为第一腔室、第二腔室及第三腔室，所述第一腔室、第二腔室及第三腔室相互连通，且所述第二腔室的直径小于所述第一腔室与所述第三腔室的直径；所述衬底温场调整组件为中空圆柱体，所述中空圆柱体包括中空的漏斗状腔体，所述腔体的两个开口分别位于所述中空圆柱体的底面与顶面，且底面开口的直径小于顶面开口的直径；所述衬底覆盖于所述坩埚体的开口，所述衬底温场调整组件的底面与所述衬底远离所述开口的表面相贴合。
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